GBT 42721-2023 电子特气 一氧化氮
GBT 42721-2023 电子特气 一氧化氮
标准号：GB/T 42721-2023
标准名：电子特气 一氧化氮
标准英文名：Electronic specialty gas—Nitric oxide
被替代标准：
标准分类：石油化工原料及产品
中国标准分类号：化工
国际标准分类号：化工技术
标准体系分类：国家标准
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
发布部门：国家市场监督管理总局
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：大连科利德光电子材料有限公司、昊华气体有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司等
起草人：施旖旎、付梦月、陈辉、刘颖、焦培培、郭琼、张天泽、李翔宇、袁瑞玲、邵治平、傅铸红、陈艳珊、金向华、孙猛、廖恒易、茹高艺、曹雪枫、汤萍、牛艳东等
文件名：GBT 42721-2023 电子特气 一氧化氮.pdf
关键词：
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