GBT 38867-2020 电子工业用四氯化硅
GBT 38867-2020 电子工业用四氯化硅
标准号：GB/T 38867-2020
标准名：电子工业用四氯化硅
标准英文名：Silicon tetrachloride for electronic industry
被替代标准：
标准分类：石油化工原料及产品
中国标准分类号：化工
国际标准分类号：化工技术
标准体系分类：国家标准
发布日期：2020-07-21
实施日期：2021-02-01
发布部门：国家市场监督管理总局
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司等
起草人：徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭等
文件名：GBT 38867-2020 电子工业用四氯化硅.pdf
关键词：
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