GBT 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
GBT 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
标准号：GB/T 32386-2015
标准名：电子工业用气体 六氟化钨
标准英文名：Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
被替代标准：
标准分类：石油化工原料及产品
中国标准分类号：化工
国际标准分类号：化工技术
标准体系分类：国家标准
发布日期：2015-12-31
实施日期：2016-07-01
发布部门：国家质量监督检验检疫总局
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司
起草人：郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云
文件名：GBT 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨.pdf
关键词：
页:
[1]