GBT 26251-2010 氟和氟氮混合气
GBT 26251-2010 氟和氟氮混合气
标准号:GB/T 26251-2010
标准名:氟和氟氮混合气
标准英文名:Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
被替代标准:
标准分类:石油化工原料及产品
中国标准分类号:化工
国际标准分类号:化工技术
标准体系分类:国家标准
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-05-01
发布部门:国家质量监督检验检疫总局
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
起草单位:中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院
起草人:杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云
文件名:GBT 26251-2010 氟和氟氮混合气.pdf
关键词:
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