GBT 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
GBT 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
标准号：GB/T 17874-2010
标准名：电子工业用气体 三氯化硼
标准英文名：Gases for electronic industry-Boron trichloride
被替代标准：GB/T 17874-1999
标准分类：石油化工原料及产品
中国标准分类号：化工
国际标准分类号：化工技术
标准体系分类：国家标准
发布日期：2011-04-01
实施日期：2011-05-01
发布部门：国家质量监督检验检疫总局
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
起草人：孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云
文件名：GBT 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼.pdf
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