GBT 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
GBT 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
标准号：GB/T 14603-2009
标准名：电子工业用气体 三氟化硼
标准英文名：Gases for electronic industry—Boron trifluoride
被替代标准：GB/T 14603-1993
标准分类：石油化工原料及产品
中国标准分类号：化工
国际标准分类号：化工技术
标准体系分类：国家标准
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
发布部门：国家质量监督检验检疫总局
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
起草单位：核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院
起草人：邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云
文件名：GBT 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼.pdf
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