Ag纳米颗粒增强SnO2纳米薄膜的室温气敏性能研究
文档名：Ag纳米颗粒增强SnO2纳米薄膜的室温气敏性能研究
摘要：采用磁控溅射法在p-Si衬底上沉积二氧化锡(SnO2)纳米薄膜并在其上负载银(Ag)纳米颗粒作为气体传感器的敏感材料.实验结果表明:负载Ag纳米颗粒提高了SnO2纳米薄膜的灵敏度.Ag溅射时间为80s,负载量为6%质量分数的SnO2纳米薄膜对乙醇气体的响应值较未负载Ag纳米颗粒时提高了78.7%,这可以归因于Ag纳米颗粒与SnO2纳米薄膜之间形成了异质结.实验测试了工作电压对SnO2纳米薄膜灵敏度的影响,当工作电压均为5.5V时,传感器对乙醇和丙酮气体的响应最佳,响应值分别为3.49和4.51.
Abstract：SnO2nanofilmsaredepositedonp-SisubstratesbymagnetronsputteringmethodandAgnanoparticlesareloadedonthemassensitivematerialsforgassensors.TheexperimentalresultsshowAgnanoparticlesimprovethesensitivityofSnO2nanofilms.TheresponsevalueofSnO2nanofilmwithAgsputteringtimeof80sandmassfractionof6%loadingtoethanolgasis78.7%increasedthanthatofSnO2nanofilmwithoutAgnanoparticlesloaded.ThisimprovementcanbeattributedtotheformationofheterojunctionbetweenAgnanoparticlesandSnO2nanofilm.TheeffectofworkingvoltageonthesensitivityofSnO2nanofilmisexperimentallytested.Whentheoperatingvoltageis5.5V,thesenorhastheoptimalresponsetoethanolandacetone,andtheresponsevaluesare3.49and4.51,respectively.
作者：刘文强 吴鹏举 王瑗瑗 连艳利 杨莹丽 Author：LIUWenqiang WUPengju WANGYuanyuan LIANYanli YANGYingli
作者单位：河南理工大学物理与电子信息学院,河南焦作454003中国联合网络通信有限公司焦作市分公司,河南焦作454000河南理工大学分析测试中心,河南焦作454003
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(2)
分类号：TP212
关键词：二氧化锡纳米薄膜Ag纳米颗粒异质结气体传感器
Keywords：SnO2nanofilmAgnanoparticlesheterojunctiongassensor
机标分类号：TB383TG174.445TP212
在线出版日期：2024年2月26日
基金项目：国家自然科学基金，河南省高校科技创新团队支持计划资助项目，河南省高校基本科研业务费资助项目Ag纳米颗粒增强SnO2纳米薄膜的室温气敏性能研究[
期刊论文]传感器与微系统--2024, 43(2)刘文强吴鹏举王瑗瑗连艳利杨莹丽采用磁控溅射法在p-Si衬底上沉积二氧化锡(SnO2)纳米薄膜并在其上负载银(Ag)纳米颗粒作为气体传感器的敏感材料.实验结果表明:负载Ag纳米颗粒提高了SnO2纳米薄膜的灵敏度.Ag溅射时间为80s,负载量为6%质量分数的SnO2纳米...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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