高分辨率光纤法珀传感器解调系统设计
文档名：高分辨率光纤法珀传感器解调系统设计
摘要：光纤法珀传感器的腔长测量精度取决于解调系统的分辨率,现有的解调系统的分辨率多大于10nm,难以实现10nm以内腔长变化的测量.针对该问题,提出了以7450像元数的线阵图像传感器为基础搭建解调系统,通过硬件设计与软件算法提高特征信号质量,完成腔长数据提取,实现了一种高分辨率光纤法珀传感器解调系统.实验结果表明,该系统在0～20μm的腔长测量范围内,实现了2.7nm的光学分辨率,精度达到0.0135％FS.
Abstract：MeasurementprecisionofcavitylengthoffiberFabry-Perotsensorsdependsontheresolutionofthedemodulationsystem.Existingdemodulationsystemsoftenhavearesolutionofgreaterthan10nm,whichisdifficulttomeasurechangesincavitylengthbeyond10nm.Aimingatthisissue,ademodulationsystembasedon7450pixellineararrayimagesensorisproposed,whichimprovesthequalityoffeaturesignalsthroughhardwaredesignandsoftwarealgorithms,completescavitylengthdataextraction,andimplementesahigh-resolutionfiberFabry-Perotsensordemodulationsystem.Theexperimentalresultsshowthatthesystemachievesanopticalresolutionof2.7nmandanprecisionof0.0135％FSwithinthecavitylengthmeasurementrangeof0～20μm.
作者：景智鹏万顺贾平岗Author：JINGZhipengWANShunJIAPinggang
作者单位：中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室,山西太原030051
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(4)
分类号：TP212TN763
关键词：法珀传感器测量精度解调系统腔长高分辨率线阵图像传感器
Keywords：Fabry-Perotsensormeasurementprecisiondemodulationsystemcavitylengthhighresolutionlineararrayimagesensor
机标分类号：TP311.52TP274.2TN967.1
在线出版日期：2024年4月26日
基金项目：国家自然科学基金，国家科技重大专项高分辨率光纤法珀传感器解调系统设计[
期刊论文]传感器与微系统--2024, 43(4)景智鹏万顺贾平岗光纤法珀传感器的腔长测量精度取决于解调系统的分辨率,现有的解调系统的分辨率多大于10nm,难以实现10nm以内腔长变化的测量.针对该问题,提出了以7450像元数的线阵图像传感器为基础搭建解调系统,通过硬件设计与软件算...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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