基于MEMS声敏结构的光纤声波传感器
文档名：基于MEMS声敏结构的光纤声波传感器
摘要：基于微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)工艺加工声波敏感结构,将声波敏感结构与光纤端面构成非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(ExtrinsicFabry-PerotInterferometer,EFPI)感知声波.研究了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构对声波探测性能的差异,对比了信噪比测试结果.实验结果表明,针对400nm和1000nm厚度的声敏薄膜,在相同的测试条件下,前者的声敏结构位移更大、频率响应的信噪比更高.在相同薄膜厚度条件下,具有增敏结构的MEMS薄膜可以释放薄膜的初始应力,降低薄膜的刚性,相比无增敏结构的MEMS薄膜具有更高的灵敏度.
作者：王文军 刘钰 解涛 吴宇 Author：WANGWenjun LIUYu XIETao WUYu
作者单位：中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051;北京麦特达电子技术开发有限公司,北京100080电子科技大学信息与通信工程学院,四川成都611731中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
刊名：电声技术
Journal：AudioEngineering
年，卷(期)：2023, 47(4)
分类号：TP212.16TN253
关键词：微机电系统(MEMS)氧化硅薄膜非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(EFPI)增敏结构
Keywords：MicroElectroMechanicalSystem(MEMS)siliconoxidefilmExtrinsicFabry-PerotInterferometer(EFPI)sensitizationstructure
机标分类号：TP212.16TN253TN64
在线出版日期：2023年8月14日
基金项目：基于MEMS声敏结构的光纤声波传感器[
期刊论文]电声技术--2023, 47(4)王文军刘钰解涛吴宇基于微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)工艺加工声波敏感结构,将声波敏感结构与光纤端面构成非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(ExtrinsicFabry-PerotInterferometer,EFPI)感知声波.研究了不同厚度和不同...参考文献和引证文献
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