基于单目视觉与激光源倾置的微位移测量系统研究
文档名：基于单目视觉与激光源倾置的微位移测量系统研究
摘要：设计了一种基于单目视觉与激光源倾置的微位移测量系统.首先,根据系统的测量原理,建立了斑点图像中心坐标值与微位移之间的关系,并得出了斑点图像中心坐标值是由纵向位变与切向位变组成的;其次,通过实验发现,当微位移变化较小时,切向位变对斑点图像中心坐标值的影响较大;然后,通过标定实验建立以切向位变为主导的测量函数模型;最后,对该测量函数模型进行了实验验证,并对测量误差进行了分析.实验结果表明:在0～1mm的位移测量范围内,采用标定的测量函数模型对物体微位移进行测量的最大绝对误差为1.16μm,满足系统测量精度的要求.
Abstract：Amicro-displacementmeasurementsystembasedonmonocularvisionandlasersourcetiltplacementisdesigned.Firstly,therelationshipbetweenthecentralcoordinatevalueofspeckleimageandthemicro-displacementisestablishedaccordingtothemeasurementprincipleofthesystem,anditisconcludedthatthecentercoordinatevalueofthespeckleimageiscomposedofthelongitudinalpositionvariationandthetangentialpositionvariation.Secondly,theexperimentalresultsshowthatwhenthemicro-displacementchangesaresmall,thetangentialpositionvariationhasagreatinfluenceonthecentralcoordinatevalueofthespeckleimage.Thenthemeasurementfunctionmodeldominatedbytangentialpositionvariationisestablishedthroughcalibrationexperiments.Finally,themeasurementfunctionmodelisverifiedbyexperiment,andthemeasurementerrorisanalyzed.Theexperimentalresultsshowthatinthedisplacementmeasurementrangeof0～1mm,themaximumabsoluteerrorofmeasuringmicro-displacementoftheobjectusingthecalibratedmeasurementfunctionmodelis1.16μm,whichmeetstherequirementsofthesystemmeasurementprecision.
作者：游志刚 朱兴龙 尹珺瑶 Author：YOUZhigang ZHUXinglong YINJunyao
作者单位：扬州大学机械工程学院,江苏扬州225127东南大学机械工程学院,江苏南京211189
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(4)
分类号：TP391.4
关键词：单目视觉激光源倾置微位移测量
Keywords：monocularvisiontiltplacementoflasersourcemicro-displacementmeasurement
机标分类号：TP391TH703TN957.52
在线出版日期：2024年4月26日
基金项目：国家自然科学基金，江苏省自然科学基金面上资助项目基于单目视觉与激光源倾置的微位移测量系统研究[
期刊论文]传感器与微系统--2024, 43(4)游志刚朱兴龙尹珺瑶设计了一种基于单目视觉与激光源倾置的微位移测量系统.首先,根据系统的测量原理,建立了斑点图像中心坐标值与微位移之间的关系,并得出了斑点图像中心坐标值是由纵向位变与切向位变组成的;其次,通过实验发现,当微位移变...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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