基于柔性材料的热式MEMS医用输液流量传感器的研发
文档名：基于柔性材料的热式MEMS医用输液流量传感器的研发
摘要：提出了一种新型的基于柔性基底的用于测量输液速度的热式微机电系统(MEMS)流量传感器.传感器由树脂打印的外壳、柔性元件以及外部电路组成.应用热损失原理,通过控制电路使发热镍(Ni)线恒温工作,通过测温Ni线检测发热Ni线上游的温度变化来反映输液流速.首先,对传感器进行了仿真验证,确定传感器关键参数.使用光刻、磁控溅射等技术在聚酰亚胺(PI)基底上加工Ni线并在表面镀了一层派瑞林来进行防水处理.传感器核心元件尺寸为1cm×2cm,封装后的尺寸为6cm×2cm.使用不同温度的生理盐水对传感器进行了标定,在热源温度50℃时,其精度可达5mL/h,量程可达300mL/h,满足日常输液使用.
作者：杨文豪 陈刚荣 胡泓 Author：YANGWenhao CHENGangrong HUHong
作者单位：哈尔滨工业大学(深圳)机电工程与自动化学院,广东深圳518000中国科学院光电技术研究所,四川成都610209
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(7)
分类号：TP212.3
关键词：微机电系统医用流量传感器柔性材料热损失
Keywords：MEMSmedicalflowsensorflexiblematerialsheatloss
机标分类号：TP391.41R472TP27
在线出版日期：2023年7月28日
基金项目：深圳市科技计划资助项目基于柔性材料的热式MEMS医用输液流量传感器的研发[
期刊论文]传感器与微系统--2023, 42(7)杨文豪陈刚荣胡泓提出了一种新型的基于柔性基底的用于测量输液速度的热式微机电系统(MEMS)流量传感器.传感器由树脂打印的外壳、柔性元件以及外部电路组成.应用热损失原理,通过控制电路使发热镍(Ni)线恒温工作,通过测温Ni线检测发热Ni线...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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