基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备
文档名：基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备
摘要：随着航空航天、原子能技术、汽车电子、冶金与石油化工等工业的迅猛发展,迫切需要能够在高温环境下对振动、压力及噪声等进行监测的传感器.本文设计并制备了基于硅酸镓镧(LGS)压电单晶材料的压电加速度传感器.实验结果表明,该传感器的谐振频率约为3kHz,在常温～800℃,工作频率为80～1000Hz范围内,传感器的电荷灵敏度保持稳定,平均值为0.081pC/gn.该传感器能在800℃高温下稳定工作.
Abstract：Withtherapiddevelopmentofaerospace,atomicenergytechnology,automotiveelectronics,metallurgyandpetrochemicalindustries,thereisanurgentneedforsensorsthatcanmonitorvibration,pressureandnoiseinhightemperatureenvironments.ApiezoelectricaccelerationsensorbasedonLangasite(LGS)piezoelectricsinglecrystalmaterialisdesignedandprepared.Theexperimentalresultsshowthattheresonancefrequencyofthesensorisabout3kHz,andthechargesensitivityofthesensorremainsstablewithanaveragevalueof0.081pC/gnintheworkingrangeof80～1000Hzfromroomtemperatureto800℃.Thesensorcanworkstablyat800℃.
作者：李爽 程文华 梁晓瑞 谭秋林 Author：LIShuang CHENGWenhua LIANGXiaorui TANQiulin
作者单位：中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室,山西太原030051太原科技大学电子信息工程学院,山西太原030051
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(5)
分类号：TP212
关键词：硅酸镓镧压电加速度计高温COMSOL固有频率
Keywords：Langasite(LGS)piezoelectricaccelerometerhightemperatureCOMSOLintrinsicfrequency
机标分类号：TG333TH824.4O626
在线出版日期：2024年5月17日
基金项目：国家自然科学基金基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备[
期刊论文]传感器与微系统--2024, 43(5)李爽程文华梁晓瑞谭秋林随着航空航天、原子能技术、汽车电子、冶金与石油化工等工业的迅猛发展,迫切需要能够在高温环境下对振动、压力及噪声等进行监测的传感器.本文设计并制备了基于硅酸镓镧(LGS)压电单晶材料的压电加速度传感器.实验结果表明,...参考文献和引证文献
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引证文献
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