GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范
硅集成电路芯片工厂设计规范Codefordesignofsiliconintegratedcircuitswaferfab
摘要:本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。
标准编号：GB50809-2012
标准类型：
发布单位：中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布日期：2012年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2012年1月1日
关键词：集成电路,硅片,芯片,工厂,设计,INTEGRATEDCIRCUIT,INTEGRATEDCIRCUITS,SILICONSLICES,CHIPS,CHIPS:MICROELECTRONICS,FACTORIES,WORKSAREA,WORKS,DESIGN,PROJECT
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